Research & Development

広範囲の3次元表面形状を検査できる高速な非破壊計測器の開発に向けて、シングルショット形状計測システムに疑似光周波数コム干渉を新たに適用して、高速大面積製品表面/内部検査装置の開発を行います。また、マッハツェンダ干渉計でバランス検波を適用することにより、周囲環境に依存しない高信頼性化と高感度化を達成します。

※本研究は埼玉大学との共同研究です。
※本研究は「次世代イノベーション創出プロジェクト2020助成事業(2020.1-2022.12)」の支援を受けて実施しています。